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掃描電子顯微鏡的主要參數(shù)有哪些?

更新時間:2023-06-30 點擊次數(shù):4613
  掃描電子顯微鏡是一種常用的顯微鏡產(chǎn)品,主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài),即用極狹窄的電子束去掃描樣品。掃描電子顯微鏡的主要參數(shù)有哪些呢?今天小編就來具體介紹一下,希望可以幫助用戶更好的應(yīng)用產(chǎn)品。
  放大率
  與普通光學(xué)顯微鏡不同,在SEM中,是通過控制掃描區(qū)域的大小來控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要掃描更小的一塊面積就可以了。放大率由屏幕/照片面積除以掃描面積得到。
  所以,SEM中,透鏡與放大率無關(guān)。
  場深
  在SEM中,位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點都可以得到良好的會焦而成象。這一小層的厚度稱為場深,通常為幾納米厚,所以,SEM可以用于納米級樣品的三維成像。
  成象
  次級電子和背散射電子可以用于成象,但后者不如前者,所以通常使用次級電子。
  表面分析
  歐革電子、特征X射線、背散射電子的產(chǎn)生過程均與樣品原子性質(zhì)有關(guān),所以可以用于成分分析。但由于電子束只能穿透樣品表面很淺的一層(參見作用體積),所以只能用于表面分析。
  表面分析以特征X射線分析常用,所用到的探測器有兩種:能譜分析儀與波譜分析儀。前者速度快但精度不高,后者非常精確,可以檢測到“痕跡元素”的存在但耗時太長。
  工作距離
  工作距離指從物鏡到樣品高點的垂直距離。
  如果增加工作距離,可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場深。
  如果減少工作距離,則可以在其他條件不變的情況下獲得更高的分辨率。
  通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。

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